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国产半导体芯片材料获实质性突破 成功制备8英寸晶片

时间:2022-05-07 13:06:03       来源:腾讯网

中关村在线消息:根据国内有关媒体报道,近日中科院物理研究所利用通过优化生长工艺,改善晶体结晶质量,成功制备单一4H晶型的8英寸碳化硅(SiC)晶体。

据了解,被称为第三代半导体材料的碳化硅(SiC)目前在功率半导体等领域具有巨大的实用性,但是其长期存在大尺寸晶体制备困难的问题,本次国产8英寸碳化硅(SiC)晶体的制备工艺成功应用,可以说是实现了历史性的突破。据中科院方面表示:该成果转化后,将有助于增强我国在SiC单晶衬底方面的国际竞争力。

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