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ASML布局泡汤了?中国科学家打破光刻机壁垒

时间:2021-12-04 22:22:24       来源:腾讯网

当下,全球正面临着十分严峻的芯片短缺。在这样的国际形势下,最重要的无疑就是光刻机,特别是EUV高端光刻机。但是,目前全球的光刻机贸易基本上都被阿斯麦尔垄断。当然,这也是没办法的事情,毕竟阿斯麦尔有着核心的组装技术和布满全球的产业链。

但是,近年来,由于我国在光刻机方面取得的突破,使阿斯麦尔频频对我国示好,用尽一切办法尽可能加大对我国的布局。但是,我国为了更好地实现独立自主,最近攻破了EUV光刻机的专利壁垒。那么,我国攻破这个专利壁垒,对于我国而言,会产生怎样的影响呢?

阿斯麦尔的布局

众所周知,近年来,阿斯麦尔对于我国的态度可以说是发生了翻天覆地的变化。之前,阿斯麦尔的光刻机总是千金难求,如今,除了EUV光刻机之外,其他类型的光刻机不仅可以向我国进口,甚至还承诺会尽量满足我国的需求。更重要的是,在价钱上,阿斯麦尔还特别降价。

其实,阿斯麦尔的频频示好,可能想要趁着我国国产光刻机还没有落地,抓紧布局我国市场,避免日后被排挤出去。但是,阿斯麦尔这次的布局恐怕要面临泡汤了,因为我国在最近打破了EUV光刻机的专利壁垒。

我国打破光刻机专利壁垒

众所周知,阿斯麦尔在我国,最近两年里申请了三千多项光刻机技术专利。换言之,就是说如果在生产光刻机过程中,使用了阿斯麦尔光刻机的技术,就算造出来了,没有阿斯麦尔的许可一样没用。美国其实就是用这样的专利壁垒,才能涉足阿斯麦尔光刻机的出售。

但是,我国最近很多机构打破了光刻机的专利壁垒。首先就是我国的长春光机所,它突破的是双波长激光共轴输出系统和方法。主要就是通过CO2激光器,同时输出双波长激光。

接着就是中科院,2020年10月7日,中国科学院高能物理研究所成功研发出极紫外光源技术。这项技术主要就是解决目前极紫外光功率和波长无法调整的问题,毕竟如果极紫外光无法调整,那么就会影响到光刻的分辨率,进而影响到芯片的质量。

最后就是四川大学突破了光刻机的光源技术,这种光源可以运用在DUV、EUV等中高端光刻机身上,主要就是保证设备能够稳定高效地产生13.5纳米光源。

以上我国在光刻机领域取得的种种技术突破,其实阿斯麦尔都没有完全掌握,因此,就这样看来,也可以说我国突破了阿斯麦尔的光刻机专利壁垒。那么,在我国打破光刻机专利壁垒的当下,对于我国而言,又会带来哪些影响呢?

打破专利壁垒对我国有什么影响?

首先,为光刻机国产化更进一步

众所周知,光刻机要想实现国产化,那么就必须要突破光刻机的核心技术。但是,仅仅突破还是不够的,由于阿斯麦尔给自己生产的光刻机申请了一堆的专利,如果没有突破阿斯麦尔没有突破或者没完全突破的技术,那么技术突破就没用了。

而我国突破的专利恰恰正是阿斯麦尔没有完全掌握的技术。因为,随着我国突破核心技术,将会使得我国在光刻机国产化的道路上,迈进一大步。

其次,满足我国芯片需求

我国打破了阿斯麦尔的专利壁垒,使阿斯麦尔都主动要将除了EUV光刻机之外的产品降价出口到我国。在目前全球芯片荒的当下,借着我国突破专利壁垒的福,至少能满足我国的芯片需求。

可能有人会说,阿斯麦尔不是只向我国出口中低端光刻机吗?确实没错,但是,当下缺乏的不就是中低端光刻机生产出的中低端芯片吗?

最后,提高我国国际地位。

突破阿斯麦尔光刻机的专利壁垒,这样的科研成就放眼全球可能都没有几个国家或者地区能够做到。但是我国偏偏就做到了。这在一定程度上可以向国际社会证明我国强劲的科研实力。在科技实力成为综合国力重要考量因素的今天,对于提高我国的国际地位,还是很有帮助的。

我国突破阿斯麦尔高端光刻机的技术壁垒,可能很多人会好奇,我国是否有希望实现EUV光刻机国产化呢?

我国有希望实现国产EUV光刻机吗?

首先,EUV光刻机供应链太广太多

其实,我国要想实现EUV光刻机的国产化,至少就目前来看不太可能。众所周知,光刻机虽然是由荷兰阿斯麦尔公司生产的,但是,如果真要较真的话,阿斯麦尔其实也不过就是一个组装厂而言。

其中,EUV光刻机的零件都是需要从全球各地进口的,换言之,阿斯麦尔就是因为有全球光刻机生产链,所以才能垄断光刻机贸易市场。而这样的生产链,我国目前可能还无法布局。

其次,EUV光刻机组装技术被垄断

众所周知,EUV光刻机是一个全球货,身上的零件可能来自全球各地不同企业和工厂。在这种情况下,EUV光刻机的零件之间就会产生很大的公差。如果没有专业的组装技术,那么在使用过程很有可能会出现各种各样的故障和意外。

但是,专业的组装图纸目前在阿斯麦尔手中,因此我国就算成功拿到或者生产出阿斯麦尔光刻机身上的零件,也没有办法组装起来。

总结

阿斯麦尔近年来在我国的布局,其意图无非是为了能尽可能保住我国市场,但是,就目前来看,阿斯麦尔的意图因为我国突破EUV光刻机核心技术可能就要落空。未来,我们依旧希望我国相关企业或科研机构能够再接再厉,尽早在高端光刻机领域,展现出耀眼的中国之光。

关键词: ASML布局泡汤了?中国科学家打破光刻机壁垒 euv光刻机